X-FAB CEO Rudi De Winter表示,”在X-FAB所有的業(yè)務(wù)中,MEMS是一塊策略領(lǐng)域以服務(wù)我們客戶不斷成長(zhǎng)的需求。我們的客戶將受益于只專注在先進(jìn)MEMS技術(shù)的專用資源與專業(yè)的代工,并建立在X-FAB卓越技術(shù)的堅(jiān)固基礎(chǔ)上。此舉將帶領(lǐng)X-FAB朝向我們的目標(biāo),成為全球前三大MEMS代工服務(wù)的供貨商?!?
X-FAB近期MEMS的技術(shù)成就包含:
● 業(yè)界首個(gè)為MEMS三軸慣性傳感器(3-axis inertial sensor)提供的開放性平臺(tái),一個(gè)可以直接從代工廠量產(chǎn)的制程
● 為MEMS完成專用的貴金屬設(shè)備
● 生產(chǎn)8英吋MEMS的能力
● 可大量制造并整合CMOS的bulk與表面微機(jī)械加工技術(shù)
● 為主流MEMS應(yīng)用所發(fā)展的內(nèi)部技術(shù)平臺(tái),如壓力傳感器、慣性傳感器、紅外線傳感器
● 可立即使用的MEMS加速度計(jì)的IP