三星電子和海力士正將“替代日本氟化氫”提上日程

據(jù)韓媒BusinessKorea報導(dǎo)，三星電子部分半導(dǎo)體制程中，已將日制氟化氫的替代品投入部分制程中。

三星電子在通過引進大陸、臺灣的原料，并制成半導(dǎo)體制程用材料，并在上個月中旬開始投入部分制程。據(jù)業(yè)界人士透露，三星電子依照測試完成產(chǎn)品順序，量產(chǎn)后投入制程。

日本自7月加強對韓出口限制，氟化氫、氟化聚酰亞胺、光刻膠皆被列入出口管制類別，導(dǎo)致三星電子未來引進Stella Chemifa、森田化學(xué)等日本企業(yè)的產(chǎn)品恐受阻，因此三星電子攜手韓國企業(yè)SoulBrain、ENF TECHNOLOGY，合力制造替代品。

過去這兩家企業(yè)主要從日本Stella Chemifa、森田化學(xué)進口氟化氫，提煉蝕刻液體后，再交予三星電子，因此擁有一定的技術(shù)能力。

三星電子發(fā)言人表示，“我們正在開始在公司一些制造工藝和產(chǎn)品中使用非日本產(chǎn)的氟化氫，因為使用化合物即將從不太敏感的工藝演變到更敏感的工藝階段。”

另一家韓國企業(yè)SK海力士也正在加快自制氟化氫的腳步。報道指出，SK海力士取得相當(dāng)數(shù)量的替代材料。過去提供SK海力士氟化氫的韓國企業(yè)RAM TECHNOLOGY表示，其已提供SK海力士數(shù)百噸的原料。

業(yè)界人士預(yù)測，到月底韓國將制造完一批氟化氫，且能夠替代日制產(chǎn)品，未來SoulBrain工廠擴建完工后，將能提供更多氟化氫給三星電子、SK海力士。